摘要
本发明提供一种原位追踪三维探测系统。系统包括：电子显微镜，电子显微镜包括电子显微镜腔体和安装在电子显微镜腔体内的样品台；探测装置，包括驱动组件和探头组件；其中，探头组件可移动的设置于电子显微镜腔体内，用于从多个方向采集待测样品的背散射电子信号；其中，待测样品放置在样品台上；驱动组件用于驱动探头组件在预设的初始位置和检测位置之间往复移动；其中，检测位置与样品台对应；三维重建装置，与探头组件电连接，用于根据采集的多个方向的背散射电子信号，对待测样品的三维形貌进行重构。本发明实现了对待测样品的非破坏性检测，从而可动态追踪样品反应过程中的形貌变化。
